蒸发一凝聚机理是重结晶硅碳棒烧结过程中关键的传质机理，分析烧结炉内沉积的硅碳棒晶片中杂质组成及含量，对于研究硅碳棒在高温下的蒸发再凝聚过程具有重要意义。利用XRF荧光分析对烧结炉内石墨增锅上沉积的硅碳棒晶片进行检测及分析，结果表明，Fe和Al元素含量分别为1192x10,1008x100而从本工作7“原料的GDMS检测结果中可以看出，Al元素的含量为1400x10，其他杂质元素含量合计占比不足100x10，尤其是硅碳棒材料中常见的Fe杂质含量低至1.4x10。造成Al元素和Fe元素差异显著的原因是，在冶炼过程中Al原子较易取代SiC晶格中的Si原子形成Al-SiC固溶体，重结晶过程中Al在SiC晶体中的扩散系数(3x1013cm2/s)较大，也会明显降低SiC晶界能并促进Al元素在晶界处扩散，从而加剧了Al元素的残留效应。但Fe元素与SiC无法形成固溶体，因此很难残留在重结晶后的SiC晶片中。对硅碳棒的检测结果用放电质谱法对重结晶硅碳棒(8“样品)、反应烧结硅碳棒(9样品)中微量杂质含量的检测结果列于表8从表8可以看出，由于该重结晶硅碳棒使用的是石油焦硅碳棒为原料，其杂质含量与3,4样品大致相同，这表明重结晶硅碳棒烧制过程中伴随的高温并不能明显降低硅碳棒材质的杂质含量。9“为反应烧结硅碳棒从中可以看出材料中的B元素含量明显高于其他样品，这是由于反应烧结硅碳棒在制备过程中硅的蒸发容易渗透到炉内石墨件内部造成损毁、失效，因此常在炉腔内部涂刷BN涂层阻止Si的扩散，BN涂层在高温下分解、扩散到炉腔内会导致硅碳棒B杂质的增加。在本工作中比较了化学分析法与放电质谱法对硅碳棒原料中杂质检测结果的差异。与化学分析法相比，使用放电质谱法Fe,Al杂质成分的检出限更低、测量硅碳棒材料的结果更准确、检测精密度更高。使用放电质谱法对陶瓷及耐火材料领域常见的原料及硅碳棒的微量杂质成分进行了检测，并依据检测结果对硅碳棒的生产进行指导，取得了明显效果。http://www.zbqunqiang.cn/