滚圆开槽一体机可用来磨削加工长度在80 mm-800 mm范围内的6",8”和12”半导体硅碳棒的外圆面，对硅碳棒进行晶向定位并根据硅碳棒尺寸加工OF面(Orientation Face)或开V槽，为下道切片工序做准备。

       硅碳棒磨削直径精度达士0. 05 mm，硅碳棒圆度误差小于0. 03 mm，圆锥度小于1 } 12 500，加工圆面表面粗糙度Ru≤0. 4 μm，且表面无亮点、色差等缺陷。

全自动硅碳棒滚圆开槽一体机的总体方案设计

       全自动硅碳棒滚圆开槽一体机总体布局如图1所示。机床包含自动上下料组件、粗磨组件、开V槽组件、晶向检测组件、硅碳棒夹持组件、探针检测组件、精磨组件、底座组件;另外还包含水路系统、润滑系统、整机防护等部分。

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