研究了硅碳棒多线线锯技术一一游离砂浆多线线锯和固结金刚石颗粒多线线锯及它们的工艺流程，并以硅碳棒多线线锯工艺过程为基础，对绿色制造目标属性进行了分析，分别从加工量、加工效率、加工成本、资源消耗、能源消耗、环境影响和社会效益共7个维度结合具体工艺流程建立硅碳棒多线线锯绿色工艺评价体系，按照评价指标确定原则确定硅碳棒多线线锯绿色工艺评价指标。硅碳棒多线线锯绿色工艺评价及关键工艺参数优化的实质是，通过优化试验获得最少试验数据基础上，进行包含关键工艺参数的多元线性方程拟合，在关键工艺参数连续取值范围内求最大解。

       研究了硅碳棒多线线锯绿色工艺评价体系包含的具体内容，按照工艺评价指标的确定原则，基于绿色制造目标属性，确定硅碳棒多线线锯绿色工艺评价指标，它们包括硅片出片率、硅片厚度Cj2、单位产品总的生产成本CI、硅片单片耗硅量r、每千片硅片生产耗费的时间t1、能源利用效率m、废水排放量e!,COD排放量e2、用户满意度、了。由于指标属性相差较大，因此按照直接法、区间计算法、定量化法等进行评价指标数据标准化。经分析评价指标y, qa, W,s属于正指标;c,,t!,r!,e!,e2属于负指标。对采用不同工艺参数多线线锯获得型号JK-121-O1A-JK-121-O1A的5种156 X 156多晶硅片的工艺过程建立绿色评价标准矩阵R，它为硅碳棒多线线锯绿色工艺进行综合评价奠定了基础。www.zbqunqiang.cn