硅碳棒随着使用时间的延长会逐渐老化，硅碳棒会逐渐氧化变成SiO2,Si0:的生成会导致硅碳棒的阻值越来越大，导致硅碳棒在原来的调功器上通电后就马上烧坏，且硅碳棒老化一般是从800℃开始，且温度越高，氧化反应越快因此硅碳棒在除气箱中使用时，应该尽量降低硅碳棒的表面温度，保证硅碳棒设定温度不超过8000C，以减慢硅碳棒的老化速度。