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- 改良U型硅碳棒制备工艺技术路线
- 改良U型硅碳棒制备工艺技术路线改良法工艺是U型硅碳棒制备的典型工艺,以氯化氢(HC1)气体和冶金级硅为原料,在280-400℃下生成三氯氢硅(TCS)。
- www.zbqunqiang.cn/show_765.html2024-03-14
- 区熔硅碳棒的制备工艺
- 区熔硅碳棒的制备工艺区熔硅碳棒制备难度非常大,要求原生多晶硅产品基磷电阻率大于5 000 iZ,基硼电阻率大于15 000SZcm,仅此两项性能指标就是非常大的挑战,具体参数见表1。
- www.zbqunqiang.cn/show_764.html2024-03-13
- 硅碳棒要满足各项性能指标要求
- 硅碳棒要满足各项性能指标要求区熔多晶硅产品纯度要达到13N以上,同时硅碳棒要满足各项性能指标要求。由于研制周期长、制备难度大,国外工艺技术完全封锁,而国内多晶硅产业起步较晚。
- www.zbqunqiang.cn/show_763.html2024-03-12
- 全自动硅碳棒滚圆开槽一体机工作过程及优势
- 全自动硅碳棒滚圆开槽一体机工作过程及优势该硅碳棒滚圆开槽一体机的工作过程如下:上下料机器人抓取半导体硅碳棒送至硅碳棒夹持区域,由固定夹头和滑动夹头夹紧硅碳棒,固定夹头和滑动夹头上的旋转电机转动硅碳棒,上下料机器人探针检测硅碳棒与夹头轴线的重合度。
- www.zbqunqiang.cn/show_762.html2024-03-10
- 探针检测组件用于测量硅碳棒的直径尺寸
- 探针检测组件用于测量硅碳棒的直径尺寸在其中一套粗磨组件的进给基座上安装有一套探针检测组件,探针检测组件用于测量硅碳棒的直径尺寸。
- www.zbqunqiang.cn/show_761.html2024-03-09